SRM2133 Si深度剖面中的磷種植標(biāo)準(zhǔn)品NIST 旨在用于通過二次離子質(zhì)譜 (SIMS) 分析技術(shù)校準(zhǔn)對硅基質(zhì)中微量和痕量磷的二次離子響應(yīng)。 SRM 2133 用于校準(zhǔn) SIMS 儀器對磷的響應(yīng)特定儀器條件下的硅基體。它也可以被實(shí)驗(yàn)室用作校準(zhǔn)硅中磷工作標(biāo)準(zhǔn)的轉(zhuǎn)移標(biāo)準(zhǔn)。該 SRM 由一個 1 cm × 1 cm 的單晶硅襯底組成，該襯底已離子注入同位素 31P，標(biāo)稱能量為 100 keV。

SRM2133 Si深度剖面中的磷種植標(biāo)準(zhǔn)品NIST 已通過 31P 原子保留劑量認(rèn)證。劑量以每單位面積的磷質(zhì)量單位表示?；?SIMS 分析，提供了關(guān)于磷原子濃度隨地表以下深度變化的其他未經(jīng)認(rèn)證的信息。

認(rèn)證值和不確定性：

31P 原子的總保留劑量通過放射化學(xué)中子活化分析 (RNAA) 確定。將兩種獨(dú)立制備的磷參考溶液（其中一種是 NIST SRM 3139a 磷標(biāo)準(zhǔn)溶液，經(jīng)過磷濃度認(rèn)證）的等分試樣沉積在鋁箔并作為標(biāo)準(zhǔn)。

得到的認(rèn)證值和擴(kuò)展不確定度為： 認(rèn)證值中的不確定度表示為擴(kuò)展不確定度 U = kuc，其中 k 是 2.0 的覆蓋因子，給出的近似置信水平為 95 %，uc 是計算得出的組合標(biāo)準(zhǔn)不確定度根據(jù) ISO 指南 [1]。組合標(biāo)準(zhǔn)不確定度是通過組合從測量過程中通過不確定度傳播得出或估計的單個標(biāo)準(zhǔn)不確定度獲得的 [1]。 A 型和 B 型標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量來自以下主要來源的測量不確定度：(1) 樣品的測量重復(fù)和異質(zhì)性，(2) 比較標(biāo)準(zhǔn)的測量重復(fù)，(3) 標(biāo)準(zhǔn)溶液的濃度，(4) 放射化學(xué)雜質(zhì)，（5）標(biāo)準(zhǔn)的體積校準(zhǔn)，和（6）載體產(chǎn)量的測定。已考慮所有已知的潛在不確定性來源